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Projetos de salas limpas da indústria de eletrônicos, microeletrônica e chips

PROJETOS DE SALAS LIMPA DA INDÚSTRIA DE ELETRÔNICA, MICROELETRÔNICA, CHIPS

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Como passo principal no projeto de engenharia de decoração da oficina de sala limpa, o projeto do processo precisa realizar razoavelmente o layout do equipamento de produção de engenharia de decoração da oficina de sala limpa sob a premissa de atender aos requisitos de produção de produtos eletrônicos, determinar razoavelmente o técnico parâmetros de diversas instalações de energia pública, e fazer Para alcançar baixo consumo de energia, baixos custos operacionais, alta eficiência de produção e baixo investimento em construção;ao mesmo tempo, também é necessário configurar e organizar razoavelmente o fluxo de rotas de pessoas, transporte de materiais e instalações de armazenamento para atender aos requisitos de produção e produtos da engenharia de decoração da oficina de sala limpa de produtos eletrônicos.Requisitos do processo de produção;além disso, o nível de automação dos equipamentos de produção e transporte de materiais deve ser melhorado tanto quanto possível para melhorar a eficiência da produção em condições económicas, práticas, seguras e fiáveis.

O layout plano do equipamento de produção também é uma parte importante do projeto do processo de engenharia de decoração da oficina de sala limpa eletrônica.As oficinas eletrônicas livres de poeira geralmente incluem tipo túnel (ou tipo porto), tipo aberto, layout em forma de ilha, etc. De acordo com a pesquisa, o projeto de renovação de oficinas de sala limpa para fabricação de chips de circuito integrado geralmente adota o tipo túnel e o tipo aberto.Entre elas, as salas limpas do tipo túnel são usadas principalmente em fábricas de chips de 5 e 6 polegadas, e o equipamento de produção abrange a área e os equipamentos de produção limpa.A área de manutenção e a área de produção limpa possuem requisitos rígidos de limpeza, enquanto o nível de limpeza do ar da área de manutenção de equipamentos é relativamente baixo.

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Oficina de Purificação de Microeletrônica

A oficina de purificação de microeletrônica óptica, também conhecida como sala limpa de microeletrônica óptica ou sala limpa de microeletrônica óptica, é agora uma parte indispensável e importante de semicondutores, componentes eletrônicos de precisão, fabricação de cristal líquido, fabricação de instrumentos ópticos, fabricação de placas de circuito e telefones celulares, computadores e outros indústrias.instalação.Nos últimos anos, devido ao desenvolvimento inovador da tecnologia, a demanda por alta precisão e miniaturização de produtos tornou-se mais urgente.Por exemplo, a investigação e o fabrico de circuitos integrados ultragrandes tornou-se um projecto ao qual países de todo o mundo atribuem grande importância no desenvolvimento científico e tecnológico.E o conceito de design e a tecnologia de construção da nossa empresa estão em uma posição de liderança na indústria.

Soluções de engenharia de purificação óptica e microeletrônica:

No processo de concepção do projecto de purificação, a análise e compreensão do esquema de concepção de engenharia de purificação da indústria óptica e microelectrónica devem ser reforçadas.Dependendo se o projeto é um projeto novo ou um projeto de reforma de uma antiga fábrica, e combinado com seu processo de produção específico, processo de produção e outros requisitos para determinar suas necessidades.Limpeza, temperatura e umidade.Então, de acordo com a situação específica do projeto, e ao mesmo tempo considerando a capacidade econômica do fabricante, vários fatores devem ser considerados para determinar qual esquema de purificação adotar.Soluções económicas, economizadoras de energia e práticas.

 

A engenharia de purificação de microeletrônica óptica geralmente inclui:

1. Área de produção limpa

2. Sala auxiliar limpa (incluindo sala de purificação de pessoal, sala de purificação de material e algumas salas de estar, etc.) banheiro de ar

3. Área de gestão (incluindo escritório, plantão, gestão e descanso, etc.)

4. Área de equipamentos (incluindo aplicação de sistema de ar condicionado de purificação, sala elétrica, água de alta pureza e sala de gás de alta pureza, sala de equipamentos de resfriamento e aquecimento)

 

Princípio de purificação de engenharia de purificação de microeletrônica óptica:

Fluxo de arPurificação do filtro de ar primárioAr condicionadoPurificação de filtro de ar de média eficiênciaFornecimento de ar do ventiladorGasodutoSaída de ar de purificação de filtro de ar de alta eficiênciaSoprando na salaLeve poeira, bactérias e outras partículasCortinas de retorno de arFiltração de ar de eficiência primária Repita o processo acima para atingir o objetivo de purificação.

 

Parâmetros de purificação de engenharia de purificação de microeletrônica óptica

O número de ventilação: nível 10000015 vezes;Nível 10.00020 vezes;100030 vezes.Diferença de pressão: da oficina principal para a sala adjacente5Pa

Velocidade média do vento: 10 graus, 100 graus 0,3-0,5 m/s;temperatura >16°C no inverno;<26°C no verão;flutuação±2°C.

A temperatura é de 45-65%;a umidade da oficina de pó GMP é de cerca de 50%;a umidade da oficina eletrônica é um pouco maior para evitar eletricidade estática.

Barulho65dB(A);o volume suplementar de ar fresco é de 10% a 30% do volume total de fornecimento de ar;iluminação 300LX.

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